知
识星球（星球名：
芯片制造与封测社区，星球号：
63559049）里的学员问：
什么是双层胶工艺？
为什么要用双层胶呢？
1，底层胶涂覆，烘烤2，第二层胶涂敷，烘烤3，曝光4，显影 为什么下面的胶溶解的更多？该双层胶，上层是光刻胶，可曝光可显影，下层胶不感光但可溶于碱溶液。显影时，先将上层的光刻胶显影出图案，之后显影剂开始以各向同性方式溶解底层。这样就制作出了上下两层开口不同的效果。
本图由allresist公司提供，特此鸣谢
1，底层胶涂覆，烘烤2，第二层胶涂敷，烘烤3，曝光4，显影 为什么下面的胶溶解的更多？该双层胶，上层是光刻胶，可曝光可显影，下层胶不感光但可溶于碱溶液。显影时，先将上层的光刻胶显影出图案，之后显影剂开始以各向同性方式溶解底层。这样就制作出了上下两层开口不同的效果。
